《科創(chuàng)板日報(bào)》3月18日訊（記者 黃修眉） 大基金二期再出手！

工商信息顯示，大基金二期近期投資了昂坤視覺（北京）科技有限公司（下稱“昂坤視覺”）。該公司的注冊資本從1140.315700萬元變更為1163.122000萬元。

昂坤視覺是大基金二期今年以來第三次“出手”的公司。另外兩家則分別為江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司、加特蘭微電子科技（上海）有限公司。

業(yè)內(nèi)人士表示，“半導(dǎo)體屬于一個(gè)需要專、精、深的領(lǐng)域，對于創(chuàng)業(yè)公司來說，需要從某一個(gè)點(diǎn)切入，再實(shí)現(xiàn)面的突破。大基金二期投資昂坤視覺，也符合這一規(guī)律，從點(diǎn)到面實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化的突破?！?/p>

系光學(xué)檢測設(shè)備供應(yīng)商

昂坤視覺官網(wǎng)顯示，該公司成立于2017年，主要為化合物半導(dǎo)體光電和集成電路產(chǎn)業(yè)提供光學(xué)測量和光學(xué)檢測設(shè)備及解決方案。

其產(chǎn)品涵蓋了化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝測量和檢測各個(gè)環(huán)節(jié)，包括各類襯底厚度和形貌測量、各類襯底的表顆粒檢測設(shè)備、藍(lán)寶石PSSAOI檢測及反射率測量集成設(shè)備、各類外延片AOI檢測設(shè)備、芯片外觀AOI設(shè)備、外延化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD）在線監(jiān)測系統(tǒng)等。

經(jīng)過多年的研發(fā)和技術(shù)積累，昂坤視覺具備光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、機(jī)器視覺及AI深度學(xué)習(xí)算法等研發(fā)能力，獲得了國家級專精特新“小巨人”、北京市企業(yè)技術(shù)中心、ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證等資質(zhì)。

公開資料顯示，作為國內(nèi)少數(shù)掌握高精度晶圓檢測技術(shù)的企業(yè)，昂坤視覺的光學(xué)測量設(shè)備可應(yīng)用于SiC襯底缺陷檢測、GaN外延片均勻性分析等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，其自主研發(fā)的AI算法將檢測效率提升30%以上。

從工商信息變更來看，昂坤視覺今年以來業(yè)務(wù)布局動作頻頻。

其中，今年1月9日，昂坤視覺獲得北京市昌平區(qū)經(jīng)濟(jì)和信息化局有關(guān)廠房方面的許可，建設(shè)5條12寸晶圓量測設(shè)備生產(chǎn)線，增加干涉儀、偏心儀等共18臺先進(jìn)的量測設(shè)備等。

上述項(xiàng)目建成后年產(chǎn)能65臺，其中平整度、面型和翹曲量測設(shè)備50臺，非圖形晶圓表面缺陷檢測設(shè)備15臺。

而后，今年2月4日，昂坤視覺再獲相關(guān)許可，建設(shè)2條應(yīng)用于無圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測的照明系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)線，增加干涉儀、偏心儀等共18臺先進(jìn)的開發(fā)驗(yàn)證設(shè)備等，項(xiàng)目建成后年產(chǎn)能30臺。

昂坤視覺今年內(nèi)進(jìn)行的招投標(biāo)項(xiàng)目亦不少，包括有無圖形的晶圓平坦度翹曲IPD量測及表面缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、先進(jìn)工藝缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目等。

多家產(chǎn)業(yè)鏈上市公司參投

股權(quán)結(jié)構(gòu)方面，昂坤視覺法人代表、實(shí)控人、CEO均為清華系技術(shù)領(lǐng)軍人物馬鐵中博士，馬鐵中也是EDA企業(yè)廣立微的創(chuàng)始人。

SEMICON China官網(wǎng)顯示，馬鐵中本科畢業(yè)于清華大學(xué)，在美國明尼蘇達(dá)大學(xué)獲得博士學(xué)位。馬鐵中2007年回國后，在杭州創(chuàng)立廣立微。2017年，馬鐵中二次創(chuàng)業(yè)成立昂坤視覺。

（圖：馬鐵中；圖源：SEMI中國公眾號）

此前，2021年12月，昂坤視覺C輪融資領(lǐng)投方錢塘產(chǎn)業(yè)集團(tuán)旗下和達(dá)金服集團(tuán)公眾號曾發(fā)文提及，昂坤視覺核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)自2013年起著手研發(fā)MOCVD配套溫控設(shè)備，已占據(jù)國內(nèi)MOCVD溫控設(shè)備領(lǐng)域90%市場份額。

值得一提的是，其MOVCD溫控設(shè)備產(chǎn)品是中微公司MOCVD設(shè)備整機(jī)的核心子系統(tǒng)之一。

與此同時(shí)，昂坤視覺LED AOI設(shè)備已占據(jù)國內(nèi)增量市場，化合物半導(dǎo)體、集成電路AOI設(shè)備已進(jìn)入三安集成、士蘭微等下游龍頭企業(yè)。

《科創(chuàng)板日報(bào)》記者注意到，在大基金二期投資前，昂坤視覺已有包括中微公司、匯川技術(shù)、晶盛機(jī)電等知名產(chǎn)業(yè)方參股。

其中，中微公司于2020年參投昂坤視覺A輪融資；匯川技術(shù)旗下匯川產(chǎn)投于2021年2月至2023年1月間參與了昂坤視覺B輪至D輪總共三輪融資；晶盛機(jī)電則參與其D輪融資。

此外，昂坤視覺的投資方還包括：招商致遠(yuǎn)、海望資本、馮源資本、清石資管、厚雪資本等；銅陵有色、昌平中小企業(yè)成長投資基金、安徽交控招商、金浦投資、寶鼎投資、錢塘產(chǎn)業(yè)集團(tuán)等參投方均為國有控股。

（圖：昂坤視覺前十大股東）

“推動國產(chǎn)設(shè)備形成生態(tài)閉環(huán)”

“大基金二期投資昂坤視覺，標(biāo)志著其在化合物半導(dǎo)體量檢測設(shè)備領(lǐng)域的重要落子，其也將進(jìn)一步整合上下游資源，推動國產(chǎn)設(shè)備形成生態(tài)閉環(huán)?！眲?chuàng)道硬科技創(chuàng)始人步日欣在接受《科創(chuàng)板日報(bào)》記者采訪時(shí)表示。

步日欣表示，“半導(dǎo)體量檢測設(shè)備領(lǐng)域的國產(chǎn)化，總體來看屬于創(chuàng)業(yè)公司‘遍地開花’，但高端設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大業(yè)務(wù)突破的企業(yè)寥寥無幾。目前，量檢測設(shè)備領(lǐng)域的整體國產(chǎn)化率約5%，遠(yuǎn)低于半導(dǎo)體設(shè)備整體的國產(chǎn)化率?！?/strong>

“量檢測設(shè)備種類繁多，國內(nèi)廠商像中科飛測、精測電子、睿勵儀器等頭部企業(yè)，在膜厚測量、關(guān)鍵尺寸測量、形貌測量等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了高工藝制程的量產(chǎn)突破，但大部分擅長于其中部分設(shè)備，并沒有實(shí)現(xiàn)全線設(shè)備的突破?！辈饺招婪Q。

步日欣進(jìn)一步表示，從全球格局來看，國際巨頭LKA產(chǎn)品線貫穿半導(dǎo)體前道工藝過程控制全流程，目前全球量檢測設(shè)備領(lǐng)域各細(xì)分環(huán)節(jié)市場仍被LKA壟斷。

2020年，LKA在晶圓形貌測量、無圖案檢測、有圖案檢測、光罩/掩膜版檢測、套刻誤差測量等細(xì)分環(huán)節(jié)的全球市占率均超過50%。其中，晶圓形貌測量的全球市占率高達(dá)85%。

華芯資本相關(guān)人士亦表示，半導(dǎo)體量檢測設(shè)備是半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的“守門員”。在AI技術(shù)驅(qū)動下，光學(xué)檢測設(shè)備需向智能化升級?！鞍豪ひ曈X通過AI算法優(yōu)化檢測流程，這種技術(shù)融合能力正是大基金看重的未來增長點(diǎn)?！?/p>

觀研天下發(fā)布的《中國半導(dǎo)體檢測行業(yè)現(xiàn)狀深度研究與發(fā)展前景分析報(bào)告（2024-2031年）》數(shù)據(jù)顯示，得益于半導(dǎo)體快速發(fā)展及國產(chǎn)化趨勢帶來的發(fā)展機(jī)遇，近年我國半導(dǎo)體量檢測市場不斷發(fā)展。

以半導(dǎo)體檢測設(shè)備為例，2016年我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模約為76.1億元，到2022年這一規(guī)模增長到了385.6億元。預(yù)計(jì)在2023-2027年，我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場將以15.4%的整體年復(fù)合增長率發(fā)展，于2027年達(dá)673.2億元的市場規(guī)模。