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2025年05月29日 09:33:27
哈工大科研團隊實現(xiàn)二維鐵電材料超分辨微納結(jié)構(gòu)圖案化可控制造
財聯(lián)社5月29日電,近日,哈爾濱工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院楊立軍教授、丁燁副教授團隊和材料科學(xué)與工程學(xué)院李洋教授團隊提出了一種在空氣中利用遠場飛秒激光刻蝕技術(shù)在二維鐵電材料上直寫超分辨納米溝槽陣列結(jié)構(gòu)的新方法。相關(guān)研究成果發(fā)表在《自然通訊》(Nature Communication)上。該研究突破了納米結(jié)構(gòu)激光制備的分辨率瓶頸,對創(chuàng)新功能架構(gòu)構(gòu)建、電子器件集成及納米光子學(xué)發(fā)展具有重要意義。
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