財(cái)聯(lián)社6月17日電，《廣州開(kāi)發(fā)區(qū) 黃埔區(qū)支持集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策措施》近日發(fā)布。其中提出，鼓勵(lì)發(fā)展光掩模、電子氣體、光刻膠、拋光材料、高純靶材等高端半導(dǎo)體和傳感器制造材料。積極引進(jìn)國(guó)內(nèi)重點(diǎn)基礎(chǔ)材料企業(yè)，穩(wěn)步提升關(guān)鍵基礎(chǔ)材料供應(yīng)能力。重點(diǎn)圍繞集成電路制造關(guān)鍵部件和系統(tǒng)集成開(kāi)展持續(xù)研發(fā)和技術(shù)攻關(guān)，支持光刻、清洗、刻蝕、離子注入、沉積等設(shè)備、關(guān)鍵零部件及工具國(guó)產(chǎn)化替代。對(duì)于新引進(jìn)的固定資產(chǎn)投資1000萬(wàn)元以上的產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，且政策有效期內(nèi)實(shí)現(xiàn)小升規(guī)的企業(yè)，按照不超過(guò)其設(shè)備和工器具投資額的15%分檔給予扶持，最高1000萬(wàn)元。