《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》24日訊，中微公司近日宣布其Primo Menova 12寸金屬刻蝕設(shè)備全球首臺(tái)機(jī)順利付運(yùn)國(guó)內(nèi)一家重要集成電路研發(fā)設(shè)計(jì)及制造服務(wù)商。據(jù)介紹，該設(shè)備專(zhuān)注于金屬刻蝕，尤其擅長(zhǎng)于金屬Al線(xiàn)、Al塊的刻蝕，可廣泛應(yīng)用于功率半導(dǎo)體、存儲(chǔ)器件和先進(jìn)邏輯芯片的制造，是晶圓廠(chǎng)金屬化工藝主要設(shè)備之一。