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2025年07月11日 10:38:36
上海奉賢:支持企業(yè)發(fā)展先進制程集成電路配套材料 如6N級以上高純靶材、深紫外光刻膠及配套試劑等
財聯(lián)社7月11日電,上海市奉賢區(qū)人民政府辦公室11日發(fā)布《奉賢區(qū)通用新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動方案(2025-2027)》。其中提出,以上海電子化學(xué)品專區(qū)為載體,以杭州灣開發(fā)區(qū)、工業(yè)綜合開發(fā)區(qū)為重點,依托確信樂思、同創(chuàng)普潤、康美特等企業(yè),重點發(fā)力濕化學(xué)品、高純靶材、電子氣體、半導(dǎo)體封裝材料等集成電路配套材料方向。支持企業(yè)發(fā)展先進制程集成電路配套材料,如6N級以上高純靶材、G3級以上高純試劑、深紫外光刻膠及配套試劑等,加快實現(xiàn)國產(chǎn)替代。推動同創(chuàng)普潤新材料產(chǎn)業(yè)園項目落地,打造產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)拓展空間。
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