《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》8月31日訊（記者 陳俊清） 截至目前，科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)公司均已披露2025年半年度報(bào)告。

據(jù)《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》記者統(tǒng)計(jì)，科創(chuàng)板共有13家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，其業(yè)務(wù)范圍涵蓋刻蝕設(shè)備、薄膜沉積、測(cè)試設(shè)備、清洗設(shè)備等細(xì)分領(lǐng)域。

具體來(lái)看，12家科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在2025年上半年實(shí)現(xiàn)了營(yíng)收正增長(zhǎng)，其中2家增速超五成、5家增速超四成；有8家企業(yè)歸母凈利潤(rùn)為正且實(shí)現(xiàn)同比增長(zhǎng)，2家增速超七成。

12家科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備公司營(yíng)收正增長(zhǎng)

從營(yíng)收維度來(lái)看，2025年上半年，科創(chuàng)板13家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合計(jì)營(yíng)收超201億元，同比增長(zhǎng)中位數(shù)約31%，其營(yíng)收增幅排為：拓荊科技、中科飛測(cè)、京儀裝備、中微公司、華峰測(cè)控、盛美上海、華海清科、耐科裝備、先鋒精科、屹唐股份、富創(chuàng)精密、芯源微。與此同時(shí)，僅晶升股份2025年上半年?duì)I收負(fù)增長(zhǎng)。

新型半導(dǎo)體設(shè)備的推出與新產(chǎn)線(xiàn)的規(guī)模量產(chǎn)，成為支撐科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備公司實(shí)現(xiàn)收入增長(zhǎng)的重要因素。

從細(xì)分領(lǐng)域來(lái)看，薄膜沉積、量檢測(cè)設(shè)備相關(guān)公司營(yíng)收延續(xù)高增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。拓荊科技作為今年上半年?duì)I收增幅最高的科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，期內(nèi)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入19.54億元，同比增長(zhǎng)54.25%。

拓荊科技在半年報(bào)中表示，其先進(jìn)制程的驗(yàn)證機(jī)臺(tái)已順利通過(guò)客戶(hù)認(rèn)證，逐步進(jìn)入規(guī)模化量產(chǎn)階段?；谛滦驮O(shè)備平臺(tái)（PF-300TPlus和PF-300M）和新型反應(yīng)腔（pX和Supra-D）的PECVD Stack（ONO 疊層）、ACHM及PECVDBianca等先進(jìn)工藝設(shè)備，陸續(xù)通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)收，量產(chǎn)規(guī)模不斷增加，ALD設(shè)備持續(xù)擴(kuò)大量產(chǎn)規(guī)模，業(yè)務(wù)增長(zhǎng)強(qiáng)勁。

量檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，中科飛測(cè)上半年?duì)I收增幅同樣超過(guò)五成，為7.02億元，同比增長(zhǎng)51.39%。該公司表示，受益于公司核心技術(shù)的不斷突破和產(chǎn)品種類(lèi)的日趨豐富，以及客戶(hù)群體和客戶(hù)訂單持續(xù)增長(zhǎng)，推動(dòng)了公司經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)。

半年報(bào)顯示，中科飛測(cè)明暗場(chǎng)設(shè)備較早地進(jìn)入到了國(guó)內(nèi)多家頭部客戶(hù)產(chǎn)線(xiàn)上進(jìn)行工藝開(kāi)發(fā)與應(yīng)用驗(yàn)證工作，并實(shí)現(xiàn)小批量出貨。

在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域，中微公司作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市值超千億的龍頭企業(yè)，營(yíng)收規(guī)模也占據(jù)科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)首位，該公司上半年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收49.61億元，同比增長(zhǎng)43.88%。其中，2025年上半年刻蝕設(shè)備銷(xiāo)售約37.81億元，同比增長(zhǎng)約40.12%；LPCVD設(shè)備銷(xiāo)售約1.99億元，同比增長(zhǎng)約608.19%。

中微公司表示，目前其在研項(xiàng)目涵蓋六類(lèi)設(shè)備，超二十款新設(shè)備的開(kāi)發(fā)。公司研發(fā)新產(chǎn)品的速度顯著加快，過(guò)去通常需要三到五年開(kāi)發(fā)一款新設(shè)備，現(xiàn)在只需兩年或更短時(shí)間就能開(kāi)發(fā)出有競(jìng)爭(zhēng)力的新設(shè)備，并順利進(jìn)入市場(chǎng)，公司有望在未來(lái)幾年更大規(guī)模地推出新產(chǎn)品。

相對(duì)于以上營(yíng)收實(shí)現(xiàn)正增長(zhǎng)的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，晶升股份在營(yíng)收端和利潤(rùn)端的壓力進(jìn)一步延續(xù)。今年上半年，該公司營(yíng)業(yè)收入1.58億元，同比減少20.29%；歸母凈利潤(rùn)-745萬(wàn)元，同比下降121.28%，主要系行業(yè)周期性波動(dòng)、公司本期驗(yàn)收產(chǎn)品結(jié)構(gòu)暫時(shí)性變動(dòng)及主要驗(yàn)收的光伏產(chǎn)品毛利率下降所致。

當(dāng)前，晶升股份也在有新增長(zhǎng)潛力的協(xié)同業(yè)務(wù)領(lǐng)域積極探索。該公司正加速CVD設(shè)備、切割設(shè)備、減薄設(shè)備、拋光設(shè)備等新產(chǎn)品的推出與定制樣機(jī)的批量化轉(zhuǎn)換，同時(shí)推進(jìn)特種材料、耗材等材料領(lǐng)域的業(yè)務(wù)進(jìn)程。今年上半年，晶升股份研發(fā)費(fèi)用為2056.39萬(wàn)元，占營(yíng)業(yè)收入的12.98%，同比增加2個(gè)百分點(diǎn)。

浙商證券在近期研報(bào)中表示，關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)突破、送樣驗(yàn)證，推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備板塊業(yè)績(jī)實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備各細(xì)分環(huán)節(jié)正不斷研發(fā)突破，快速積累自主IP，并逐步具備出?？赡苄浴４送?，隨著國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈在零部件、材料領(lǐng)域的加強(qiáng)，機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性一致性正快速提升，頭部晶圓廠采購(gòu)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化有望提速。

頭部企業(yè)貢獻(xiàn)近七成利潤(rùn) AI驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)復(fù)蘇

與營(yíng)收規(guī)模普遍提升的情況不同，上半年科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備公司歸母凈利潤(rùn)呈現(xiàn)明顯分化態(tài)勢(shì)。共8家企業(yè)實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)正增長(zhǎng)，5家負(fù)增長(zhǎng)，其中3家下滑七成以上，2家處于虧損狀態(tài)。

從凈利潤(rùn)規(guī)模來(lái)看，處于半導(dǎo)體設(shè)備的頭部企業(yè)中微公司、盛美上海、華海清科、屹唐股份4家貢獻(xiàn)科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)近七成凈利潤(rùn)，上述企業(yè)均實(shí)現(xiàn)凈利潤(rùn)正增長(zhǎng)。

其中，中微公司歸母凈利潤(rùn)規(guī)模再次位居榜首，上半年歸母凈利潤(rùn)7.06億元，同比增長(zhǎng)36.62%。清洗設(shè)備作為半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用最頻繁的設(shè)備之一，在2025年上半年保持了穩(wěn)健增長(zhǎng)。盛美上海作為國(guó)內(nèi)清洗設(shè)備的龍頭企業(yè)，上半年以6.96億元的歸母凈利潤(rùn)位居第二，同比增長(zhǎng)56.99%。

盛美上海表示，業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)一方面系設(shè)備銷(xiāo)售端持續(xù)放量，目前公司銷(xiāo)售端產(chǎn)品增量仍以清洗設(shè)備為主，同時(shí)電鍍?cè)O(shè)備的銷(xiāo)量相較去年同期也有了顯著提升；另一方面為需求端表現(xiàn)強(qiáng)勁，二季度邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片兩大領(lǐng)域的客戶(hù)需求均較為旺盛。

從增速方面來(lái)看，上半年歸母凈利潤(rùn)增幅最高的科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備公司為華峰測(cè)控，該公司上半年歸母凈利潤(rùn)為1.96億元，同比增長(zhǎng)74.04%。

華峰測(cè)控將業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)歸因于AI帶動(dòng)與汽車(chē)電子和消費(fèi)電子等下游領(lǐng)域復(fù)蘇。該公司表示，2025年上半年，全球半導(dǎo)體行業(yè)在人工智能（AI）浪潮的強(qiáng)力驅(qū)動(dòng)下，延續(xù)了始于2024年的復(fù)蘇態(tài)勢(shì)，并步入新一輪的增長(zhǎng)周期。下游應(yīng)用中，除了AI領(lǐng)域，汽車(chē)電子和消費(fèi)電子等市場(chǎng)也為本土半導(dǎo)體企業(yè)提供了廣闊的發(fā)展空間，拉動(dòng)了半導(dǎo)體設(shè)備的出貨。

與此同時(shí)，華海清科、富創(chuàng)精密等多家半導(dǎo)體設(shè)備公司在半年報(bào)中表示AI技術(shù)落地應(yīng)用為半導(dǎo)體設(shè)備持續(xù)高速增長(zhǎng)提供強(qiáng)勁動(dòng)能。

先鋒精科、拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密、晶升股份5家企業(yè)凈利潤(rùn)同比負(fù)增長(zhǎng)。值得注意的是，上述部分公司今年上半年研發(fā)投入增加。如：芯源微上半年在歸母凈利潤(rùn)同比減少79.09%的情況下，研發(fā)費(fèi)用同比增長(zhǎng)12.87%，達(dá)1.32億元。

對(duì)于上半年歸母凈利潤(rùn)同比下降，拓荊科技持樂(lè)觀態(tài)度。該公司表示，因2025年第一季度確認(rèn)收入的新產(chǎn)品、新工藝的設(shè)備在客戶(hù)驗(yàn)證過(guò)程成本較高，毛利率較低。隨著公司新產(chǎn)品驗(yàn)證機(jī)臺(tái)完成技術(shù)導(dǎo)入并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)突破和持續(xù)優(yōu)化，2025年第二季度毛利率環(huán)比改善，呈現(xiàn)穩(wěn)步回升態(tài)勢(shì)。

有市場(chǎng)觀點(diǎn)認(rèn)為，本土晶圓廠在過(guò)去兩年囤積了較多海外設(shè)備，階段性地對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備下單意愿有所減退會(huì)累及國(guó)產(chǎn)設(shè)備的下單節(jié)奏。市場(chǎng)擔(dān)心全球成熟工藝處于供過(guò)于求的狀態(tài)，國(guó)內(nèi)擴(kuò)產(chǎn)有可能陷入衰退。

對(duì)此，浙商證券發(fā)表觀點(diǎn)稱(chēng)，其認(rèn)為全球成熟工藝產(chǎn)能的供過(guò)于求狀態(tài)僅僅是階段性的，當(dāng)前傳統(tǒng)消費(fèi)電子類(lèi)產(chǎn)品處于緩慢復(fù)蘇周期，并未進(jìn)入創(chuàng)新拉動(dòng)帶來(lái)的放量成長(zhǎng)階段，若傳統(tǒng)消電、AI終端放量成長(zhǎng)，供需情況有望反轉(zhuǎn)。

擴(kuò)產(chǎn)與行業(yè)整合提速

當(dāng)前，生成式AI支出爆發(fā)式增長(zhǎng)，Gartner預(yù)測(cè)2025年全球生成式AI支出將同比增長(zhǎng)76%達(dá)6440億美元，其中80%集中AI服務(wù)器、智能手機(jī)和PC等硬件領(lǐng)域。市場(chǎng)普遍認(rèn)為，基于對(duì)中國(guó)大陸本土自主可控的需求，尤其是對(duì)先進(jìn)制程的需求，預(yù)計(jì)未來(lái)將持續(xù)推動(dòng)中國(guó)內(nèi)先進(jìn)晶圓廠擴(kuò)張和設(shè)備銷(xiāo)售。

SEMI總裁兼首席執(zhí)行官Ajit Manocha表示，“在2024年實(shí)現(xiàn)強(qiáng)勁增長(zhǎng)之后，預(yù)計(jì)今年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷(xiāo)售額將再次擴(kuò)大，并且在2026年創(chuàng)下新的紀(jì)錄。盡管半導(dǎo)體行業(yè)始終在密切關(guān)注宏觀經(jīng)濟(jì)所存在的不確定性，但人工智能推動(dòng)下的芯片創(chuàng)新需求，正不斷驅(qū)動(dòng)著對(duì)產(chǎn)能擴(kuò)張和領(lǐng)先生產(chǎn)的投資。”

面對(duì)需求端的不斷增長(zhǎng)，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)也在積極進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)。中微公司計(jì)劃通過(guò)有機(jī)生長(zhǎng)和外延擴(kuò)展，逐步覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的50%到60%。拓荊科技“高端半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)項(xiàng)目”建成后，將大幅提高公司薄膜沉積設(shè)備的產(chǎn)能，以支撐公司PECVD、SACVD、HDPCVD等高端半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品未來(lái)的產(chǎn)業(yè)化需求，目前已取得本項(xiàng)目的土地使用權(quán)證、用地規(guī)劃許可證，并簽訂總包施工合同。

盛美上海在近期調(diào)研中表示，該公司臨港廠區(qū)共有兩個(gè)生產(chǎn)工廠，其中廠A已經(jīng)投產(chǎn)，在其滿(mǎn)產(chǎn)狀態(tài)下，可達(dá)到100億元的產(chǎn)能。目前臨港廠區(qū)的工廠產(chǎn)能可以支持公司完成今年的全年業(yè)績(jī)指引目標(biāo)，即65億元至71億元。計(jì)劃于明年下半年完成裝修后開(kāi)始投產(chǎn)，正式投產(chǎn)后可以實(shí)現(xiàn)200億元的年產(chǎn)值。

政策方面，國(guó)家大基金三期重點(diǎn)支持設(shè)備和零部件加速?lài)?guó)產(chǎn)化。此外，2024年以來(lái)，新“國(guó)九條”、“科創(chuàng)板八條”等政策發(fā)布，半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)并購(gòu)持續(xù)升溫，“并購(gòu)六條”明確支持跨界并購(gòu)、允許并購(gòu)未盈利資產(chǎn)。

2025年上半年，北方華創(chuàng)完成收購(gòu)芯源微17.9%的股份，成為芯源微第一大股東，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)進(jìn)入深度整合期。海光信息和中科曙光也于今年6月份雙雙公告披露換股吸收合并預(yù)案。公告顯示，海光信息擬以0.5525:1的換股比例吸收合并中科曙光，并向特定投資者發(fā)行股份募集配套資金。

海光信息董事、總經(jīng)理沙超群表示，本次合并將充分發(fā)揮中科曙光完整的系統(tǒng)能力和算力應(yīng)用生態(tài)，實(shí)現(xiàn)云計(jì)算應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)鏈延展，形成一體化優(yōu)勢(shì)，側(cè)重通過(guò)系統(tǒng)能力提升公司芯片的性能，解決功耗等影響因素對(duì)摩爾定律進(jìn)一步突破的掣肘，實(shí)現(xiàn)公司的CPU和DCU在更加廣泛的行業(yè)應(yīng)用，對(duì)標(biāo)國(guó)際行業(yè)巨頭。

與此同時(shí)，中微公司也通過(guò)參設(shè)產(chǎn)業(yè)基金布局半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。2025年6月，中微公司全資子公司中微臨港與關(guān)聯(lián)方共同發(fā)起設(shè)立上海智微攀峰創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)，基金規(guī)模15億元，中微臨港認(rèn)繳7.35億元（占比 49%），聚焦半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體及戰(zhàn)略新興領(lǐng)域。

拓荊科技在近期披露的接待調(diào)研公告顯示，公司近兩年一直緊密?chē)@半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行產(chǎn)業(yè)投資布局，開(kāi)展了對(duì)恒運(yùn)昌、新松半導(dǎo)體、珂瑪科技、芯密科技、先鋒精科等10余家公司的參股投資。同時(shí)，該公司也在關(guān)注合適的標(biāo)的，在未來(lái)的發(fā)展規(guī)劃中，不排除通過(guò)并購(gòu)契合公司戰(zhàn)略、能夠產(chǎn)生協(xié)同效應(yīng)的優(yōu)質(zhì)標(biāo)的助力公司業(yè)務(wù)的深度拓展。