《科創(chuàng)板日報》12日訊，4月11日上午，南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院（簡稱“南智光電”）鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)線啟動儀式在新區(qū)舉行。南京江北新區(qū)消息顯示，本次啟用的產(chǎn)線，具備了光刻、刻蝕、鍍膜、研拋、濕法等系列核心技術(shù)工藝。這意味著國內(nèi)薄膜鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)業(yè)化取得重要進(jìn)展。產(chǎn)線配備3.5億元規(guī)模設(shè)備、5000平方米超凈間，覆蓋了整個產(chǎn)業(yè)鏈的核心工藝，月產(chǎn)能一千片晶圓。