《科創(chuàng)板日報》16日訊,阿斯麥(ASML)總裁兼首席執(zhí)行官傅恪禮表示,“我們看到光刻機投資在晶圓廠總體投資中所占的比重持續(xù)保持強勁,尤其是在DRAM(動態(tài)隨機存取存儲器)領(lǐng)域,而TWINSCAN NXE:3800E的推出也進一步鞏固了這一趨勢。與此同時,EUV光刻機的應(yīng)用正在按計劃推進,其中包括高數(shù)值孔徑(High NA)系統(tǒng)。本季度,我們發(fā)運了首臺TWINSCAN EXE:5200B系統(tǒng)?!?/div>