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光刻機
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EUV光刻機是生產(chǎn)最新、最強大芯片必要設(shè)備，目前由ASML獨家進行研發(fā)、制造，ASML公司掌握80%的國際市場份額，市面上無法尋找到其他替代品
全部內(nèi)容
2025-08-15 10:39 來自 科創(chuàng)板日報記者 郭輝
①浙大量子研究院相關(guān)團隊宣布，自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”正式走向市場。
②業(yè)內(nèi)人士表示，電子束光刻在工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用最大的問題還是量產(chǎn)效率，且暫時不具備替代EUV的可能。
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2025-08-15 07:57 來自 財聯(lián)社
①近日，作為基地首批簽約孵化項目之一，全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進入應(yīng)用測試，其精度比肩國際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。
②愛建證券指出，越來越多的國產(chǎn)光刻機產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)取得顯著進展，建議關(guān)注相關(guān)的投資機會。
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2025-08-14 09:22 來自 杭州日報 吳佳妮
①全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”在杭州進入應(yīng)用測試，其精度比肩國際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)有了“中國刻刀”；
②“羲之”通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達(dá)到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計無須掩膜版，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。
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2025-08-14 09:18
【全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機在杭“出爐”】財聯(lián)社8月14日電，據(jù)杭州日報，全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”近日已進入應(yīng)用測試，其精度比肩國際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。在測試現(xiàn)場，浙大余杭量子研究院相關(guān)團隊緊張忙碌著，一臺模樣酷似大型鋼柜的機器正在做應(yīng)用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)?！斑@不是普通的機器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負(fù)責(zé)人告訴記者，依托省重點實驗室，這臺研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場。

“羲之”取名自書法家王羲之，“只不過我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路?！毖邪l(fā)團隊相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，這臺設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達(dá)到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計無須掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。
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2025-07-29 15:38 來自 科創(chuàng)板日報記者 郭輝
①安徽首家半導(dǎo)體光刻掩模版企業(yè)——安徽晶鎂光罩有限公司擬成立，多家資方合計向其增資11.95億元；
②安徽晶鎂關(guān)于半導(dǎo)體光刻掩模版的技術(shù)資產(chǎn)，均來自晶合集成方面的轉(zhuǎn)讓，未來將專注于28nm及以上工藝節(jié)點半導(dǎo)體光罩生產(chǎn)制造。
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