《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》3日訊，SK海力士宣布，已將業(yè)界首款量產(chǎn)型高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)（High NA EUV）引進(jìn)韓國(guó)利川M16工廠。該設(shè)備與現(xiàn)有的EUV設(shè)備（NA 0.33）相比，其光學(xué)性能提升了40%，這一改進(jìn)使其能夠制作出精密度高達(dá)1.7倍的電路圖案，并將集成度提升2.9倍。