《科創(chuàng)板日報》23日訊，尼康近日宣布，正式推出全球首款專為半導(dǎo)體后道工藝設(shè)計的無掩模光刻系統(tǒng)DSP-100，并啟動全球預(yù)訂，預(yù)計于2026年3月31日前正式上市。該設(shè)備采用SLM（空間光調(diào)制器）技術(shù)，專為扇出型面板級封裝（FOPLP）領(lǐng)域設(shè)計，能夠支持最大600mm見方的大型基板，并具備1.0μm *1（L/S *2）高分辨率。