《科創(chuàng)板日報》15日訊，據(jù)無錫日報，國產(chǎn)首臺28納米關(guān)鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設(shè)備今日在無錫成功出機。據(jù)介紹，此次出機的設(shè)備由無錫亙芯悅科技有限公司自主研制，在電子光學(xué)系統(tǒng)、運動平臺、電子電路和軟件等方向?qū)崿F(xiàn)了完全自研。