//電報內(nèi)容
【國產(chǎn)首臺28納米關(guān)鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設備出機】《科創(chuàng)板日報》15日訊,據(jù)無錫日報,國產(chǎn)首臺28納米關(guān)鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設備今日在無錫成功出機。據(jù)介紹,此次出機的設備由無錫亙芯悅科技有限公司自主研制,在電子光學系統(tǒng)、運動平臺、電子電路和軟件等方向?qū)崿F(xiàn)了完全自研。
//解讀摘要
國產(chǎn)首臺28納米關(guān)鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設備出機!機構(gòu)稱電子束檢測設備是先進制程芯片良率的關(guān)鍵保障,未來有望加速發(fā)展,這家公司首臺半導體電子束檢測設備已正式交付國內(nèi)客戶,另一家已開始組織開發(fā)電子束檢測設備。